二手 KLA / TENCOR 2139 #9244609 待售

KLA/TENCOR 2139是一款高端的蒙版及晶圆检测设备。它设计用于集成电路晶片的检测、分析和测量，使制造商能够快速识别异常。该系统适用于先进的光刻工艺，如浸入式光刻或双图桉。KLA 2139使用独特的5倍光束路径快速准确地检查晶片的缺陷和临界参数。它极其精确的模式识别、异常检测和光刻掩蔽算法使得能够在整个检查过程中对敏感设备进行仔细检查。该单元还提供了一系列功能,如自动缺陷分类、实时缺陷查看和过程边缘映射。该机包括了亮场和暗场等先进照明技术，以及反向散射成像和近紫外线成像等各种成像模式。这些技术有助于揭示传统检查往往看不到的特征和细节。高级照明、成像模式和模式识别功能的结合产生了快速、易于解释的结果和更明智的决策。TENCOR 2139还可以执行对齐、迭加和迭加偏差测量,这对于光刻过程中的精确定位至关重要。这样可以确保所施加的抗蚀剂的厚度和整个晶片的分辨率一致。它还有助于减少代价高昂的蒙版修改和返工。该工具配备了专有的自动聚焦技术，通过每次拍摄前自动聚焦晶片来减少成像时间。其刚性花岗岩结构和隔振资产即使在高密度生产环境中也能控制尺寸公差。2139凭借其易用性、先进的功能和灵活性，是先进光刻和微电子生产的理想工具。