二手 KLA / TENCOR 219 SWD #293635821 待售

KLA/TENCOR 219 SWD是为半导体制造质量保证而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。这种多传感器系统能够检测纳米级的缺陷和处理300 mm以下的晶圆尺寸。KLA 219 SWD专为内联应用而设计，配备四个亮场和三个暗场光学器件。这使得它能够检测具有最佳灵敏度和每小时50晶圆吞吐量的图样硅层上的亚5纳米缺陷。高级专有的Video Flex算法可确保更全面、更准确的检查结果。该单元采用先进的成像和计量工具，如KLA图像导航机（INKs）来实现最高质量的缺陷检测、边缘放置精度测量以及先进的掩模检测。它还配备了先进的分割方法，使其能够区分真实缺陷和错误警报。此外,晶圆检查参数可以通过公司的全球远程工具（GRS）进行远程实时调整。TENCOR 219SWD具有触摸屏用户界面,使操作员能够轻松地在系统之间切换、调整检查参数和查看测量数据。用户界面还提供了对高级自动缺陷审查（ADR）和高级成像选项的一键访问,以及自动边缘放置精度测量和客户定义的算法以进行自定义检查。219SWD提供各种专门的智能检测技术，如表面缺陷检测、掩模和晶片检测、应力测量和模模检测。它在建造时考虑到安全和清洁，适合200、300和450mm晶圆尺寸。归根结底,KLA/TENCOR 219SWD是技术先进、可靠的检测资产,在检测纳米级缺陷时提供一流的准确性、可重复性和效率。其广泛的功能、自动化功能和用户友好的UI使其成为半导体行业质量保证的理想选择。