二手 KLA / TENCOR 2350 #9250244 待售

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KLA / TENCOR 2350
已售出
製造商
KLA / TENCOR
模型
2350
ID: 9250244
晶圆大小: 8"-12"
High-resolution imaging inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2350掩模和晶片检测设备是一种强大的表面检测工具,用于测量掩模和晶片上的复杂形状和特征尺寸。该系统出色的3D测量分辨率和图像处理能力使其成为检查高度复杂的集成电路(IC)结构(如MEMS和3D设备)的理想选择。KLA 2350设计用于精确检测各种特征和结构,如微观图桉、空隙、接触孔、下切/过切几何形状、跳过、桥接和粒子。它可以测量各种模式,包括线宽低至25 nm、倒圆角低至70 nm、正方形低至80 nm和矩形低至100 nm。该单元可以提供正方形和非正方形层以及单个晶圆中提供的多层的精确表面分析。TENCOR 2350机配备有128个独立通道的高分辨率5µm随机存取扫描头。每个通道都可以跟踪单个倾斜和塌陷,从而确保准确和可重复的测量结果。它配备了一个最先进的图像处理软件套件,专门用于检查掩模和晶圆表面的关键结构。直观的用户界面可帮助用户快速入门,轻松配置和执行检查设置。2350提供了一个高速检查工具,可以在一个通道内检查范围广泛的表面,其经过现场验证的架构产生可靠和可重复的结果。机器由先进的计算机算法提供动力,使它能够快速检测到最微小的缺陷。总体而言,KLA/TENCOR 2350掩模和晶圆检验资产是一种可靠而强大的工具,旨在提供精确、可重复的表面检验结果。它能够识别最微小的缺陷,使其成为各种掩模和晶圆检查应用的理想选择。
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