二手 KLA / TENCOR 2350 #9254021 待售

KLA/TENCOR 2350是一种针对半导体制造最苛刻的要求而设计的掩模和晶圆检测设备。凭借先进的光学系统、卓越的成像性能、集成的粒子检测，KLA 2350为缺陷检测和计量提供了全面的解决方桉。TENCOR 2350利用高速、高解析度的影像照相机来捕捉掩模或晶圆的亮场影像。然后实时分析这些详细图像的缺陷,包括模式变化、线宽和其他不一致。该单元还包含了一个复杂的粒子检测机器，使它能够检测即使是最复杂的表面上的粒子。2350具有先进的光学工具,能够提供高数值孔径和高放大倍率。这种特性组合非常适合进行掩模和晶圆特性检查。此外,照明资产还包括正面和背光配置,可实现几何特征、表面污染物和缺陷的最佳可视化。KLA/TENCOR 2350采用高度敏感的数字信号处理模式。该设备利用算法进行缺陷分类，并产生高度精确的缺陷测量。该系统还以闭环方式工作，允许连续缺陷监测，提高整体检测精度。KLA 2350能够测量多种特性，包括线宽、侧壁角和其他与图样相关的缺陷。该单元还可用于检测外来粒子和材料，以及计算迭加精度。高级报告功能还允许用户存储数据以便于检索、生成实时报告以及与其他工具通信结果。总体而言，TENCOR 2350是一款强大可靠的掩模和晶圆检测机，旨在满足半导体制造最具挑战性的要求。凭借其先进的光学、卓越的成像能力、数字信号处理工具以及集成的粒子检测，2350为缺陷检测和计量提供了全面的解决方桉。