二手 KLA / TENCOR 2350 #9314038 待售

KLA/TENCOR 2350面膜晶片检测设备是一种用于先进的图样晶片缺陷检测应用的计量平台。它将光学显微镜、电子显微镜、光谱工具等先进的计量工具与最新的高分辨率成像功能、用于成像优化的高级算法以及用于自动缺陷识别的精密软件模块相结合。KLA 2350拥有广阔的视野,为用户提供详细的3D特征和特征提取所需的分辨率。系统还包括高灵敏度、低噪声的CMOS成像相机；覆盖整个视野的高功率激光照明器；以及先进的图桉化晶圆成像模式识别和图像处理算法。TENCOR 2350提供了成像、计量和分析功能的独特组合，允许用户以最大的速度和准确度查看、检查和测量微尺度特征和模式。它提供双束实时光学显微镜，以及扫描电子显微镜（SEM）的概述和高分辨率成像。通过其先进的计量能力，该单元可以对单层和多层的临界尺寸、线宽和高度进行极其精确的测量。2350还附带自动化缺陷分类、自动缺陷报告、掩码检查等多种高级软件模块。这些模块使机器能够以最高的精度快速识别和通过/失败各种产量关键特性。该工具还可以帮助确定缺陷的优先级,以便进一步分析。KLA/TENCOR 2350是任何晶圆制造设施的强大资产。利用它的综合功能，该资产可以通过简化缺陷检测和表征来节省时间和金钱。它意味着工程师可以快速准确地发现小缺陷，使他们能够制定经济高效的纠正措施，确保产品的高质量。