二手 KLA / TENCOR 2351-UI #9275961 待售
网址复制成功!
单击可缩放
KLA/TENCOR 2351-UI是一种用于在线集成到半导体制造过程中以及用于离线系统增强的掩模和晶圆检测设备。该单元提供成像和模具水平的全晶片和基板检查。它使用户能够对作业车间和晶片车间的多层掩模和晶片进行关键缺陷检查,以进行关键缺陷检查、缺陷检测、过程更改监控以及过程控制和优化。KLA 2351-UI配备了高质量的成像机,由先进的电荷耦合器件(CCD)和5轴晶圆级供电。该成像工具提供令人印象深刻的0.1微米分辨率和准确性。资产还包括各种自动化和手动功能,包括:先进的模式匹配能力、根据大小和形状隔离缺陷、使用高级算法准确分类缺陷、自动缺陷修复和自动识别缺陷。模型的5轴级包括用户定义的基于软件的可编程运动轮廓,以及晶圆运动的实时控制。这有助于确保晶片能够在高速下精确、精确地扫描,移动时间非常短。TENCOR 2351-UI旨在提供易于使用的操作,它具有直观的图形用户界面,允许用户快速设置、配置和监视设备的操作。系统的内置报告功能使用户能够生成缺陷信息和实时数据的图形报告。2351-UI单元旨在为半导体制造的每个阶段提供质量保证。它具有简单的操作、强大的性能和准确的缺陷检测功能,设计紧凑。这台机器非常适合半导体生产和支持生产线生产过程。
还没有评论