二手 KLA / TENCOR 2351 #9251384 待售

KLA/TENCOR 2351是一种自动化的掩模和晶片检测设备，设计用于检测集成电路（IC）掩模和半导体晶片上的物理缺陷和污染物。该系统可以测量IC掩码和晶片上的模式和单个元件，如晶体管门、迭加和互连。该单元使用差分干涉对比度（DIC）光学成像和自动可编程模式识别算法的组合来检查掩模或晶圆上的组件。该机器设计用于检查多达12英寸晶片或掩模的表面,并且可以轻松集成到IC制造管线中。通过DIC成像获得的图像首先发送到工具的集成处理单元进行进一步分析。此处理单元能够检测缺陷以及其他表面变化,如划痕、瑕疵和污染。此外,该资产还包括一个用户友好的图形用户界面（GUI）。这允许用户自定义检查参数和用于测试的算法。例如,用户可以选择在不同的对比度级别或在不同的区域中检查晶圆或掩码的某个部分。此外,用户还可以自定义模型,以检测关键缺陷（如电线短裤和开放回路）或检查较小的特征（如接触通风孔和护垫。另外，KLA 2351可以识别模式变化和降解。它还可以检测晶圆或掩模上的颗粒污染。该设备配有高分辨率镜头，可精确捕捉和分析低至0.4微米的小特征。此外,它还能够捕获反射率小于0.2%的反射面图像。总体而言，TENCOR 2351系统是分析集成电路掩模和晶片的物理缺陷、污染和其他不规则性的有效工具。凭借其可编程模式识别算法、用户友好的GUI和高分辨率成像能力，该单元是自动IC检测和分析的理想选择。