二手 KLA / TENCOR 2360 IS #9187557 待售

KLA/TENCOR 2360 IS是一种坚固的掩模和晶圆检验设备，旨在满足铸造和先进逻辑制造商的需求。它先进的算法和先进的光学系统使它能够以前所未有的速度和精度准确地识别和测量掩模和晶片上的关键特征。其全掩模检测能力提供高精度缺陷检测，包括线缘粗糙度（LER）测量，精度为1纳米。其基于光源的检测技术检测微接触抗反射涂层（MARCs）和薄膜，以及面膜上的局部缺陷。系统还执行自动缺陷分类，确保识别和过滤过程引起的缺陷，降低整体误报率。它的晶圆检查功能包括高级自动化缺陷隔离、映射以及用于缺陷审查工具的接口,从而能够快速分析缺陷模式。该单元还具有低噪声、多像素成像功能，使其能够检测到单像素灵敏度可能遗漏的缺陷。它还提供高速、高分辨率晶圆迭加计量学、神经网络分类和缺陷跟踪算法，以进一步提高精度。KLA 2360 IS包括一台自动光学检查（AOI）机器，允许对晶圆和其他基材进行全面检查。此工具具有自动模式匹配和现场检查功能,用于足迹、线宽、临界尺寸（CD）、迭加和折迭检查,使制造商能够降低产量和成本。此外，其灵活的源架构能够适应不同层次的视觉校正，包括非聚焦和前表面外观分析。TENCOR 2360 IS提供高级自动化系统,用于设置和帮助进行流程规划。其自动校准功能可用于快速准确地调整资产以满足特定于工作的要求。这样就无需手动校准,从而节省了时间和成本。其用户友好的GUI还允许用户通过最少的培训来配置和操作模型。总体而言,2360 IS是一种功能强大且精密的设备,可为掩模和晶片检查提供宝贵的性能和效率。凭借先进的算法、先进的光学技术和全面的自动化，它是市场上最好的掩模和晶圆检测系统之一。