二手 KLA / TENCOR 2360 #293606935 待售

KLA / TENCOR 2360
製造商
KLA / TENCOR
模型
2360
ID: 293606935
Brightfield inspection system.
KLA/TENCOR 2360是一种掩模和晶圆检测设备,旨在检测和识别具有挑战性的阵列几何上的缺陷。它提供高速数据分析和提高吞吐量的高精度自动化检查。该系统是高度可配置的,具有一系列集成模块,旨在满足各种应用程序的需求。KLA 2360的主要部件是其图像传感器、彩色成像技术和光学子系统。图像传感器由可变数量的直线扫描摄像机组成,这些摄像机记录所检查的图样几何的二维图像。彩色成像技术使用多种算法处理图像数据并隔离潜在的缺陷特征。一旦识别出潜在的缺陷特征,光学子系统就会评估这些特征并确认它们是否存在。TENCOR 2360还具有一系列先进的自动化检测选项,如自动设备分类和特征识别、过程控制参数、数据提取算法以及广泛的报告选项。此外,用户还可以通过诸如分辨率和视野设置、图像增强软件、可编程逻辑控制器和特征参数提取等选项来定制其设备,以满足其确切的应用程序需求。机器可以检测到一系列小至0.2微米的缺陷,以及复杂的几何图桉、污染和桥接。其先进的成像和光学子系统可最大限度地减少错误缺陷检测和改进缺陷隔离,而其强大的数据分析则可实时捕获和处理大量信息。2360允许直接连接到一系列主机控制系统,并提供简单的设置、安装和操作过程。该工具旨在支持并发的多个系统,其用户控制台可分为两个供两个同时使用的用户使用。此外,资产的组件是可维护和升级的。总之,KLA/TENCOR 2360是一种高度可配置和自动化的模型,旨在检测一系列缺陷,并减少了错误缺陷检测和改进了数据分析功能。它允许简单的设置和操作过程,并为自定义应用程序提供了一系列选项和功能。
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