二手 KLA / TENCOR 2365 #9237491 待售

KLA/TENCOR 2365是一种半自动设备，设计用于掩模和晶圆检查。该系统提供高性能成像、激光扫描光学显微镜和联网功能，以进行有效的掩模和晶圆检查。针对口罩、薄片、平板显示器等大幅面基板的检测进行了优化。KLA 2365的核心是一个先进的CCD成像单元，它捕获全面的图像，并为各种基板提供高保真检测能力。该机器提供四种成像模式-区域、边界、线条和光斑-以及五种成像分辨率,从0.7微米到5微米。这种通用的成像工具可以检查厚薄的金属氧化物层、氧化物薄膜和其他复杂材料。TENCOR 2365还具有先进的激光扫描光学显微镜资产。该模型能够产生高分辨率图像，整个芯片的分辨率小至4.5纳米。扫描和缩放也是可能的,允许用户获取详细信息到功能级别。此外,2365还具有许多联网功能。它配备了以太网和USB 2.0接口，可以与其他KLA系统联网，允许各单元之间的数据和图像共享。KLA/TENCOR 2365是一种通用的掩模和晶圆检测设备,能够检测薄基材和厚基材的缺陷、不合格和异物。其CCD成像系统和激光扫描光学显微镜以小至4.5纳米的分辨率提供高保真检查。此外,它还可联网,包括以太网和USB 2.0接口等功能,并支持其他TENCOR系统,从而实现高效的数据和映像共享。