二手 KLA / TENCOR 2365 #9251385 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
2365
ID: 9251385
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
Inspection system, 8" 2006 vintage.
KLA/TENCOR 2365掩模和晶片检查设备是一种高度自动化、高精度的成像工具,旨在促进各种自动化检查任务。该系统配备了各种先进的功能,能够实现高速、高分辨率的成像、分析、关联和识别任务。KLA 2365具有全方位的图像采集模式,包括多场、多对比度成像、频闪、暗场和多种其他高级成像技术。该设备可配置为能够自动对齐掩模基板,从而实现高达500 mm/秒的扫描速度。此外,镜头设计被配置为提供一个小的工作领域和非常高的分辨率低至1 μ米。TENCOR 2365具有集成的图像分析套件,配有用于模煳缺陷检测和精确缺陷识别的高级工具。这些工具可实现快速、自动的关联和识别任务。这包括能够在单个CCD成像周期内查找、检测和识别众多对象的图像,包括粒子、划痕、划痕和高、低、双侧缺陷。2365还具有实时、在线缺陷审查和列表编辑功能。这样就可以对实时产品进行性能监控和改进,而无需执行检查后审核步骤。KLA/TENCOR 2365掩模和晶圆检测机是为满足先进半导体器件检测市场的需求而设计的。该工具具有多场、多对比度成像、频闪、暗场和其他各种先进成像技术等特点,是最全面、最精确的掩模和晶圆检测解决方桉之一。
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