二手 KLA / TENCOR 2367 #200219 待售

KLA/TENCOR 2367是一种精密的设备，设计用于分析用于生产集成电路（ICs）的晶圆基板和标线。这台先进的机器检查每个标线内和周围的各种组件的表面缺陷、形状不规则性和电气缺陷。KLA 2367还向用户提供了一份详细的报告，说明每个被测试晶片的状态和完整性。TENCOR 2367设计用于半导体生产线。它结合了一系列不同的成像和检查技术，如电荷耦合器件（CCD）和X射线成像、能量色散X射线光谱（EDS）和扫描电子显微镜（SEM）。这些技术进入一个自动化的数据采集系统，该系统收集关于每个被检查的掩模和晶片的电子和结构特征的详细信息。检查过程从对每个晶片表面进行彻底扫描开始。2367然后隔离潜在缺陷，如空隙、裂缝、划痕和针孔。然后使用CCD和X射线成像仪来识别每个缺陷的确切位置。KLA/TENCOR 2367的高分辨率SEM和EDS功能用于扫描电气缺陷。它可以检测晶体管掩模的不规则性以及接线模式之间的距离。一旦发现所有缺陷，设备就会在输出关于每个被检查晶片状态的综合报告之前对数据进行编译和分析。可以从检查报告中提取关键信息,包括缺陷大小、位置、严重程度以及可能的环境或机械原因。KLA 2367旨在提供整个晶圆表面积的详细分析。它提供了对图样和非图样缺陷的可靠检测，并为检验质量和准确性设定了标准。TENCOR 2367凭借其全球支持机器和完善的服务网络,是半导体制造商面临生产高端设备挑战的理想选择。