二手 KLA / TENCOR 2367 #293794239 待售

KLA/TENCOR 2367是一种高水平、高精度的掩模和晶圆检测设备。它旨在为需要高度控制和准确性的环境提供快速、可靠和全面的缺陷检查和分析。该系统采用3D成像、扫描和图像分析算法的组合，检测半导体掩模和晶片结构中的缺陷并进行分类。KLA 2367基于使用专有高清成像技术的强大多轴单元。它允许基于最多四个运动轴的全场3D成像和扫描区域覆盖。机械机器由负责控制运动四轴运动的高分辨率编码器驱动。这样就能够以非常高的精度高速获取大量图像。TENCOR 2367采用的先进3D成像技术负责高分辨率成像和缺陷协议识别。该成像工具与复杂的图像分析算法一起用于检测和分析掩模和晶片结构中的缺陷。资产对所有类型的尺寸、薄膜和表面缺陷（包括凹坑、碎屑、裂缝、划痕和表面粗糙度）执行自动缺陷识别,并生成有关缺陷分析的详细报告。另外,2367是一个集成的计量模型,能够测量对象在3D.设备的精密探头负责测量，并与控制器相连，以确保精确的位置精度和可重复性。然后通过系统的集成软件分析和报告测量结果。此外，KLA/TENCOR 2367还有额外的功能，为用户提供更大的灵活性和控制。例如,它具有自动自动对焦单元,可确保在整个扫描字段上精确聚焦,从而消除手动调整。此外,该计算机还具有用于高速扫描的"快速模式"扫描选项,以及配置各个感兴趣的区域的功能,从而能够对目标缺陷进行快速描述。总体而言，KLA 2367是一种先进的工具，设计用于掩模和晶圆的检查和分析。它利用先进的成像和图像分析技术，结合精确的运动控制和计量，提供快速、可靠和准确的缺陷识别和表征。