二手 KLA / TENCOR 2367 #293815941 待售

KLA/TENCOR 2367是一款配备了先进工艺控制和产量管理能力的掩模和晶圆检测设备。该系统的目的是确保通过严格的过程控制和可重复性来实现掩码和晶片的完整性。该单元集成了高速扫描、图像处理和检测分析，以便检测掩模和晶圆级的缺陷。KLA 2367具有检测粒子级缺陷和可变性的能力，使用户能够准确监控过程控制参数并确保正确的产率。它还可以在一次扫描中检测到微妙的缺陷和变异性，否则这些缺陷和变异性在传统的检查平台中可能不会被发现。该机器具有自动对准和晶片映射功能,以及高度敏感的计量工具,可帮助确保以最高精度实现掩码和晶片的可重复性。TENCOR 2367提供了两种检测模式：亮场和暗场。Brightfield inspection are designed to exected contrast variations, specle level defects, and blementary bilm defects.它还可以检测可能影响晶圆和掩模产量的颗粒或污染物。另一方面，暗场检查旨在检测颗粒级缺陷，以及暗点和基质中的其他非均匀性。2367是一项强大的资产,它提供了许多用于检查掩码和晶片的高级功能。它具有高效的自动化图像处理和易于使用的直观工具,使其易于使用和维护。其高分辨率能力，结合实时过程控制和产量管理，使其成为满足关键掩模和晶圆检测要求的理想解决方桉。快速扫描速率确保可以在一次扫描中对缺陷和可变性进行全面监控。这使得关键晶片和掩模的收率准确可靠。