二手 KLA / TENCOR 2367 #293818079 待售
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ID: 293818079
优质的: 2017
Inspection system
(25) Cassettes, 8"
GEM / SECS
HSMS Model
2017 vintage.
KLA/TENCOR 2367是一种革命性的设备,设计用于检查制造的口罩和晶片,主要用于硅光刻设备和半导体加工。它是一个具有全自动光学检测平台的高通量检测系统,能够快速准确地扫描图像。此外,KLA 2367还附带了一套高级成像增强算法,以提供更可靠和可重复的缺陷检测。该单元的创新设计使其享有前所未有的准确度和速度水平,有利于检查高达2500x3500像素的口罩和直径达8英寸的晶片。TENCOR 2367获得专利的Fly Scan技术允许快速捕获样本图像,其准确度和精确度达到无与伦比的水平。该机采用全彩色8英寸TFT显示显示器,可与偏角照明和双光束照明快速同步,检测在常规观看条件下可能看不见的特征。图像中的对比度范围可以调整以适合任何应用。此外,2367还包括多功能缺陷分类功能,使用户能够选择预定义参数或自定义参数,以准确地对缺陷进行分类和分类。这些参数可以包括大小、形状、边缘、亮度和许多其他变量。KLA/TENCOR 2367还具有一整套全面的缺陷分析功能。它能够执行高级直方图分析以确定最佳缺陷检测设置,并能够将已知缺陷与新检测到的缺陷交叉引用。此外,KLA 2367与几种流行类型的SPC软件包无缝集成。它收集的数据可以快速导出到这些包中,从而能够高效地分析和格式化结果。这为工程师和技术人员提供了一个宝贵的工具来检测和跟踪随着时间推移的缺陷。TENCOR 2367作为最先进的掩模和晶圆检测工具,是任何半导体和掩模制造设施的重要组成部分。2367具有卓越的准确性、速度和附加功能范围,被广泛认为是任何应用程序的首要检查资产。
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