二手 KLA / TENCOR 2367 #293819065 待售

KLA/TENCOR 2367是KLA Corporation开发的高效、高质量的掩模和晶圆检测设备。KLA 2367使用先进技术在晶圆级和掩模级提供了缺陷的快速检测，并提供了结果的信息性分析。该系统包括一个双光束激光投影单元，可独立检测掩模两侧的规格，在该单元上对掩模图样进行快速、准确的分析。再者，TENCOR 2367集成了多种先进的光学方法，如散射测量，并有几种自动过程来保证检查的准确性和优化。2367提供晶片的高分辨率成像，减少了与缺陷检测相关的时间和成本。通过改变每个像素上的强度水平，它很容易检测到微妙的缺陷--甚至是蒙版图像中的微小颗粒或细线。它还能够检测掩码上突出或隐藏的图样、亚像素缺陷、电气和光学缺陷、迭加和迭加错误对齐。此外,KLA/TENCOR 2367机器还可以生成缺陷图,用于识别掩模模式和可能改进的区域。KLA 2367工具还提供了一些增强其功能和有效性的功能和选项。例如，它包括一个强大的图像处理软件，可以从SEM（扫描电子显微镜）图像生成3D体积数据。它还提供可定制的测量温度设置，以确保不同晶片的精度，以及控制尘埃探测面积、紫外线激光强度、曝光时间等能力。此外，它与各种类型的样品，如晶片和口罩兼容，以确保准确、高速的处理。总之，TENCOR 2367是一种先进的掩模和晶圆检测资产，采用最先进的技术检测和分析缺陷。它提供快速可靠的检测结果,可以生成信息丰富的缺陷图和图像。它还包括一系列可定制的功能,以确保准确性和精确度。2367具有高分辨率成像和图像处理功能,非常适合半导体和掩模制造行业。