二手 KLA / TENCOR 2367 #9189551 待售
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已售出
ID: 9189551
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Patterned wafer inspection system, 12"
Wafer calibration kit including DSW & shiny
Hardware options:
Hermos (2 CID devices)
Advantag (2 CID devices)
KEYENCE BCR Singlewire (2 CID devices)
Interlocks:
Safety Interlock for open panel
Safety Interlock for lamp
Exhaust:
600 ft3/min
100 ft3/min
1300 ft3/min
Integrated mini-environment
FEC Computer system
Intel® Pentium® 4 CPU 3.00GHz
2GB Memory (RAM)
Dell computer system
Intel®Xeon™ CPU 3.4GHz
2.48GB Memory (RAM)
DVD ROM
Mouse
Keyboard
HSMS/GEM SEMI E37 Compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors:
Overhead transport (OHT)
Remote guided vehicles (RGV/AGV)
Auto switch for dual use environments
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package: E40, E94 (Process job, control job)
Windows 2000 based operating system SP4
Spatial population analysis :
Power options:
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixelperfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Photo option:
FEM
PWQ
Interface:
Data transfer
DVD-R
Ethernet
Hardware optic :
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB / I-Line / G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrastTM
1600 MPPS Image computer
Array and random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
Facilities:
Power: 2V5W-N, 18KW
Vw: 25 in Hg
CDA: 5 Sft3/min
Missing parts:
(4) Image computer nodes
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367是KLA Corporation开发的高效、高质量的掩模和晶圆检测设备。KLA 2367使用先进技术在晶圆级和掩模级提供了缺陷的快速检测，并提供了结果的信息性分析。该系统包括一个双光束激光投影单元，可独立检测掩模两侧的规格，在该单元上对掩模图样进行快速、准确的分析。再者，TENCOR 2367集成了多种先进的光学方法，如散射测量，并有几种自动过程来保证检查的准确性和优化。2367提供晶片的高分辨率成像，减少了与缺陷检测相关的时间和成本。通过改变每个像素上的强度水平，它很容易检测到微妙的缺陷--甚至是蒙版图像中的微小颗粒或细线。它还能够检测掩码上突出或隐藏的图样、亚像素缺陷、电气和光学缺陷、迭加和迭加错误对齐。此外,KLA/TENCOR 2367机器还可以生成缺陷图,用于识别掩模模式和可能改进的区域。KLA 2367工具还提供了一些增强其功能和有效性的功能和选项。例如，它包括一个强大的图像处理软件，可以从SEM（扫描电子显微镜）图像生成3D体积数据。它还提供可定制的测量温度设置，以确保不同晶片的精度，以及控制尘埃探测面积、紫外线激光强度、曝光时间等能力。此外，它与各种类型的样品，如晶片和口罩兼容，以确保准确、高速的处理。总之，TENCOR 2367是一种先进的掩模和晶圆检测资产，采用最先进的技术检测和分析缺陷。它提供快速可靠的检测结果,可以生成信息丰富的缺陷图和图像。它还包括一系列可定制的功能,以确保准确性和精确度。2367具有高分辨率成像和图像处理功能,非常适合半导体和掩模制造行业。
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