二手 KLA / TENCOR 2367 #9206183 待售
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已售出
ID: 9206183
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
OS: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Interface data transfer DVD-R ethernet
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
2006 vintage.
KLA/TENCOR 2367是一种掩模和晶圆检测设备，结合了最佳的光学和图像传感器技术，提供卓越的可视化和缺陷检测。该系统包括两个独立的6轴级模拟器，用于掩模和晶圆检查。它还有一个用于亮场、暗场和紫外线成像的紫外线光源。它具有自动化、可编程的照明器，可在多个频率上成像，并具有集成的后门功能。蒙版检查单元（MIS）具有254mm的视野,可用于高放大率的真实区域检查。它具有先进的3D功能,如视图缝合和波前计量,用于精确检查和迭加功能。机器还可以识别和捕获表面污染和颗粒等小缺陷的清晰图像。晶圆检查工具（WIS）是一种独立的资产,可以为每个应用程序定制。该模型包括用于缺陷检测的高分辨率成像相机和广域光学器件，以及用于表面成像的多个照明器。WIS还包括一个多点触控显示和图形用户界面，用于直观操作。KLA 2367是用于掩模和晶圆检验的可靠设备。它提供可编程控制和自动排序,以实现快速、准确的筛选。它还采用先进的分析技术来识别小缺陷类型和易于传输的图像。该系统用户友好,可检查停机和错误成本高的产品。TENCOR 2367是口罩和晶圆制造、半导体工业的绝佳解决方桉。它通过当今最先进的技术检查产品,是提高效率和质量的宝贵工具。凭借强大的功能和灵活性,该设备可以在短时间内轻松检测和捕获子级和表面级缺陷。它为自动化和手动操作提供了卓越的支持,有助于确保任何项目的最高质量结果。
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