二手 KLA / TENCOR 2367 #9226903 待售
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已售出
ID: 9226903
晶圆大小: 12"
Bright field patterned inspection system, 12"
(2) Load ports with FOUP capable (ASYST)
RFID Type: Load ports carrier reader
Robot: YASKAWA
Light source: 350 W Hg-Xe illumination
Image process system: TDI (3200MPPS)
Resolution: 120 nm
Pixel size: 0.12, 0.16, 0.20, 0.25, 0.39, 0.62 um
Special function: Edge contrast illumination mode
Light mode:
I-Line
G-line
Broadband UV
Visible
User interface
Power condition
Missing parts:
Qty Part no Description
(16) 0076508-000 Tested, SDB1600 MPX, v2 (Sensor daughter boards)
(1) 0279583-000 FRU assy, amplifier, stage,z
(1) 0093388-001 Tested, PSB 3200 MPX, boards b(DC to DC board)
(1) 730-774350-001 Cable, mac-d to x flex signal
(5) 0086079-002 Tested, input data adaptors (IDA PCB)
(1) 0031224-003 Assy, filter wheel,236x
(1) 730-733835-001 Cable, mac to mac-d power
(1) 730-772676-002 Cable, pneumatic solenoid pigtail
(1) 0095782-000 Assy, fiber optic node 0 to 5
(1) 0095784-000 Assy, fiber optic node 2 to 6
(1) 0095785-000 Assy, fiber optic node 3 to 7
(1) 0095787-000 Assy, fiber optic node 4 to 8
(1) 0095789-000 Assy, fiber optic node 5 to 9
(1) 0095791-000 Assy, fiber optic node 6 to 10
(1) 0095792-000 Assy, fiber optic node 7 to 11
(1) 0103943-000 Assy, fo, TDC 0 out, CRTA to node 0-1
(1) 0103944-000 Assy, fo, TDC 1 out, CRTA to node 2-3
(1) 0103945-000 Assy, SGB out to R tap
(1) 0095216-000 Net gear 24 ports net switch plus mounting bracket in UI box
(1) 0115395-000 Upper, monitor (VDU) in UI
(1) 0119930-000 G5 x-server R tap (APPLE Image system)
(4) 0101705-000 Assy, tested, G5 x-server nodes
(2) 0276654-000 FRU assy, tested power supplies, m31 host/n
(1) PN Unknown Trackball mouse on UI unit
(1) 0083821-000 Line conditioner (Mains transformer)
(3) 0298771-000 Image computer (APPLE) hard discs
(6) 0066560-000 SCC DELL Computer hard discs.
KLA/TENCOR 2367是一种全自动、非接触式掩模和晶圆检测设备。设计用于缺陷检测、临界尺寸测量以及光掩模和晶片图样布局的监控。该系统利用先进的模式识别和专有光学器件自发识别面罩和晶片正面和背面的平面和3D缺陷。它还具有直观、易于使用的软件界面,使经验丰富的新手用户能够快速高效地编程和监控流程优化。该单元可配置为容纳多种部件，包括小至4英寸至大至12英寸的晶片和小至4英寸至大至25英寸的口罩。KLA 2367采用高速LED源，在实现最大吞吐量的同时，还允许前后两侧检查的检查速度为每秒8微米。该机还具有高级图像增强功能,包括焦点控制、增益控制和对齐校正。此外,TENCOR 2367还具有专门的照明工具,旨在显着减少检查缺陷所需的晶圆和掩模旋转量。此功能还消除了长时间暴露在检查光源下可能产生的潜在缺陷。除了优越的光学和先进的模式识别外，2367还提供各种自动化软件和数据分析，包括统计过程控制（SPC）、缺陷分类和后审查工具。这使资产能够非常精确地检测和记录关键缺陷。该软件还包括一个全面的报告生成功能,该功能提供适合可追踪性和统计分析的可自定义报告。该模型还具有一个"Point&Look"模块,该模块允许用户快速轻松地查明和检查掩码和晶片上的特定位置。这消除了手动显微镜或其他技术的需要，允许更快的分析和更高的准确性。此外,KLA/TENCOR 2367设备可以与其他设备集成,从而实现全面、自动化的分析过程。最终，KLA 2367提供了无与伦比的缺陷检测和临界尺寸测量，允许对广泛的光掩模和晶片进行检查。
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