二手 KLA / TENCOR 2367 #9276696 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9276696
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
Operating system: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management / wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Interface data transfer DVD-R ethernet
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64 x 64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
Review camera
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367是专门为模具和基板的精确光学检测而设计的掩模和晶片检测设备。KLA 2367对底物进行了详细、全面、准确的缺陷检测，同时为许多应用提供了极高的可重复性和灵活性。该系统配有5MP溅射涂层科学级CCD相机，用于高分辨率检测。相机的视场为25.4/17.6毫米,提供5、2.5、1.25微米/像素的可选成像分辨率,以及1微米/像素传输模式功能。TENCOR 2367还采用了一种专有的CMOS传感器技术,可在检查精细特征和几何形状时消除成像失真。这是通过获得专利的无校准技术实现的，该技术提供了极好的可重复性。2367的专利对准技术使单位能够提供极为精确的检验结果。在检查过程的每个步骤中，被测样品通过独特的编码机制与检测网格对齐。这样可以确保每个样品的数据都可以精确定位在成像光学器件下-无论样品在机器中的位置如何。内置的缝合算法提供了一个"滑动和缝合"功能，允许工具在利用舞台非线性和非对称性进行补偿的同时制作动态图像马赛克。这意味着来自基板各部分的数据，包括返工、共晶和模具附着区域，可以比较容易。KLA/TENCOR 2367也是为快速高效的缺陷检测而设计的。使用高通量的机动化级,资产能够以高达200 mm/秒的速度扫描整个基板。此外,它还支持集成各种数据输出源（如EDA链接）,以简化缺陷到设计的数据传输。总之，KLA 2367是检测晶片和掩模的理想模型。它结合了精密成像、先进的对准技术和高效的缝合算法，确保用户在检查底物缺陷时获得最高精度。
还没有评论