二手 KLA / TENCOR 2367 #9293245 待售

KLA/TENCOR 2367掩模和晶片检测设备是一种先进的自动化晶片和掩模检测系统，旨在快速准确地分析半导体制造过程。它利用一个全自动和集成的仪器、软件和光学单元来检测半导体晶片上的视觉和计量缺陷，其精度和速度比传统的检测方法更高。KLA 2367检测机配备了高分辨率晶圆概述相机、自动光学定位（AOP）等先进功能，以及图案化和缺陷识别工具。全场成像子系统利用光束分离器和CCD摄像机实现了卓越的图像分辨率和模式识别，同时最大限度地减少了摄像机的失真。这确保了任何缺陷都可以比传统的检测技术更快、更容易地被检测到。TENCOR 2367强大的AOP功能允许在目标位置0.25 μ m内进行极其精确的基板对准。此外，该工具还具有通过缺陷识别算法和图像处理识别不同类型缺陷的能力。模式识别工具使资产能够根据不同的模式检测缺陷，如通过传统检查方法未发现的缺陷。该模型还提供了关键特征的测量和分析,例如相邻特征之间的几何距离、与预期形状的变化以及从多个角度或视图点的设备特征之间的距离。为了进行更详细的分析，2367还提供了一个高级计量包，具有精确和精确测量的功能。设备的定量分析工具支持缺陷跟踪和评估以及特征/结构表征。此外,系统还提供了一种特征分析工具,可以极精确地检测特征大小和形状变化。总体而言，KLA/TENCOR 2367掩模和晶圆检测仪是一种健壮的自动化检测机，可以帮助半导体制造商降低拥有成本，提高盈利能力。该工具的高级功能和强大的分析工具可以更快、更轻松地检测缺陷,同时提供卓越的准确性和精确度。这样，KLA 2367保证了半导体制造过程中的质量控制。