二手 KLA / TENCOR 2370 #9184317 待售

KLA / TENCOR 2370
製造商
KLA / TENCOR
模型
2370
ID: 9184317
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
Wafer inspection system, 8" 2002 vintage.
KLA/TENCOR 2370是一种下一代的掩模和晶片检测设备,提供对光刻光栅和晶片的高分辨率检测。KLA 2370使用先进的激光光源提供卓越的成像能力,包括可变光斑激光和亮场照明。成像系统允许检查从低压到超高分辨率图像的整个视场。该单元还提供自动模式识别和缺陷分类功能,从而能够快速准确地识别常规技术所看不到的微小缺陷。TENCOR 2370提供双级图像处理和分析功能,可加快晶圆检查速度。分析的第一阶段利用专有算法将扫描模式与参考模式进行比较,从而实现各种分辨率的快速成像。第二阶段的分析采用定制设计的相移算法和模式分类引擎相结合的方法对缺陷进行检测和分类。这种技术的组合确保了缺陷识别的最高准确性。2370设计用于生产和开发环境。它支撑着广泛的基板,包括玻璃基板、砷化​​氙(GaAs)和光刻染色体。KLA/TENCOR 2370机设计易于与领先的光刻系统集成,可与计量、检验和缺陷审查设备结合使用。该工具提供高级自动化功能以及高级报告和分析。KLA 2370资产提供了广泛的图像捕获和分析功能,可加快周转时间并降低缺陷覆盖率。它还可以通过先进的缺陷减少算法进一步减少缺陷。此外,该模型还提供了改进的可扩展性和灵活性,以支持各种生产要求。总体而言,TENCOR 2370是一种先进而强大的设备,具有卓越的图像质量、快速的晶片检测和无与伦比的缺陷分类精度,用于掩模和晶片的检测。该系统专为易于集成而设计,可针对生产和开发环境进行扩展。该设备先进的缺陷减少算法可提高结点精度和缺陷覆盖率。
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