二手 KLA / TENCOR 2371 #9313879 待售

KLA / TENCOR 2371
製造商
KLA / TENCOR
模型
2371
ID: 9313879
Wafer inspection system Stage locking and handler missing.
KLA/TENCOR 2371是一种顶级的掩模和晶圆检测设备,提供对半导体模式的全面分析和表征。该系统结合了先进的光学、传感器、信号处理电子和软件,以高精度、重复性和灵活性产生图像。用于高精度半导体和集成电路器件的制造和检测以及平板显示器的制造。KLA 2371使用激光、成像传感器和光学元件的组合来扫描、识别和处理被检查材料中存在的模式。计算机辅助检查(CAI)单元识别扫描材料中的模式,并将其与先前存储的参考模型进行比较。机器还利用强大的软件来绘制模式质量、缺陷、线宽以及其他被检查的参数。该工具采用高分辨率光学显微镜,能够进行亚微米成像。它与基于高速检流计的光学资产集成在一起,提供水平和垂直自动级扫描能力。该模型提供了一种先进的特征检测能力,能够检测到亚微米大小的缺陷,还可以识别颗粒和残留物。TENCOR 2371能够同时进行破坏性和无损性测试。设备配备了多种模式识别算法、自动模式识别软件、自动故障检测分类、帮助识别因材料应力导致的系统故障的后处理以及强大的图形显示等多种功能。此外,它的编程软件为用户提供了执行多个用户定义的检查的能力,包括颜色对比度、蒙版对齐、拍摄到镜头扫描、迭加验证、轴倾斜和图像放大。2371专为生产环境而设计,为检测多路半导体掩模和晶片提供了全面的解决方桉。它完全可配置,以满足复杂、专门的程序需要,并且可以很容易地与线上的其他设备集成。总而言之,KLA/TENCOR 2371系统为检测多路半导体掩模和晶片提供了全面的解决方桉。凭借其强大的光学、传感器、信号处理电子和软件,它为用户提供了为其掩模和晶圆检查任务实现精确和可重复结果的灵活性。该单元适用于各种生产和检验环境,有助于减少时间、成本和缺陷。
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