二手 KLA / TENCOR 238 #9091298 待售

KLA/TENCOR 238是为半导体工业设计的高精度掩模和晶圆检测设备。该系统旨在检测半导体晶片和掩模在预光刻过程中的缺陷。它能够在12nm内检测精度，而它的高速操作允许每小时检查多达25,000个晶圆。KLA 238结合了几种创新的检查技术来提供精确的测量。其内置的导电对准单元有效地检测晶片边缘的图样缺陷，以便均匀放置模具。具有伪随机二进制序列（PRBS）算法的图像处理器可以精确检测和隔离纳米级分辨率内的缺陷。该机还使用了获得专利的高速突起检测（HPD）设置来识别表面水平的缺陷，如划痕、凹坑和小颗粒污染物。TENCOR 238可以检测2到12µm之间的粒子污染物，并配备了数据传输和通信模块，用于与现有工厂自动化网络的直接数据集成。此工具还具有独特的通过/失败标记算法,可帮助减少误报检测。资产的紧凑设计使得在任何半导体生产环境中的部署都很容易。它的高动态平面能够达到± 6 σ的最大错位,从而允许重复、有序的设备配置文件检查。该模型增强的成像功能确保了对每个晶片表面的完全覆盖,并捕获和检查了每个视场的全部50%。238还包括一个方便的基于PC的数据管理界面,为用户提供实时缺陷数据分析。总体而言，KLA/TENCOR 238是一种可靠、精确的检测设备，结合了几种创新技术。其独特的检测能力和数据集成技术简化了半导体生产，允许精确而全面的检测。