二手 KLA / TENCOR 238 #9395887 待售

KLA/TENCOR 238掩模和晶圆检测设备是专门为半导体行业设计的自动化检测系统。该单元提供对关键晶圆级特征的对齐标记定位、标记测量和其他模式迭加要求的快速、准确的检查。它能够检查边缘和图样边缘模具的特征,包括0.18微米器件。机器的自动化检验工具提供了高吞吐量和高精度，并结合了对晶圆级特性的一系列检验能力。它兼具卓越的灵活性和易于编程的特点,能够快速检查模具和容器特征的对齐以及其它关键的对齐标记定位。KLA 238由具有亮场和暗场照明的双源光学资产组成,可自动检查硅模具和容器特征的正负模式。该模型具有8.5 Hz图像频率快、精度为1微米的多轴级，适用于高精度应用。设备能够检测特定目标特征的图像；例如,测量对齐标记的位置和大小。它可以比较各级之间的迭加，甚至可以测量亚微米结构等小特征。TENCOR 238系统与高级软件集成，使其能够轻松与其他制造系统接口。它具有灵活、直观的用户界面,并且可以轻松快速地进行编程以检查各种功能。该单位还设有一系列质量控制和缺陷管理程序。它具有手动和自动缺陷分析功能,使其能够检测到甚至难以发现的缺陷。机器可以在晶圆级识别形状不规则的缺陷、未对准或缺失的特征以及其他潜在的缺陷。总体而言,238蒙版和晶圆检测工具是在制造过程中发现缺陷的强大而可靠的工具。它提供对晶片级特性的快速和准确的检查，并通过其复杂的缺陷检测和质量控制过程帮助确保产品质量。