二手 KLA / TENCOR 239E #9041907 待售

KLA/TENCOR 239E掩模和晶片检验设备是一种行业领先的工具，用于检查用于制造印刷电路板和半导体器件的掩模和晶片元件的关键光学和电气性能。KLA 239E采用先进的激光和机器视觉触觉检查技术以及创新的专有计量系统来检测和表征低于亚微米尺寸的缺陷,包括针脚/护垫短裤、残留物、桥梁、断裂、错位等。TENCOR 239E专为易于使用和性能而设计,是一种多传感器系统,具有同步电源、闪电和光学检测功能。它具有使用TetraTile技术的自动对齐功能、高分辨率成像功能和独特的双重视觉功能,可以从两个不同角度进行检查。同时使用OmniView和激光位置,用户即使在最具挑战性的掩模目标中也能检测到缺陷。该单元还具有简化的用户界面，具有直观的晶圆图显示和增强的可编程芯片模板。239E独特的tribrid光学设计包含三个组件-激光、CCD相机和掩模-用于捕获晶圆组件的精密图像并检测最微小的缺陷。它可以捕获每100 um 65个绿松石像素的微米级分辨率图像。KLA/TENCOR 239E基于LED的电源机制确保精确的像素测量到1.0um,从而提高了吞吐量和可靠性。在计量方面,KLA 239E与Suss NanoAnalysis软件集成,允许用户控制关键尺寸、特征高度和大小、晶圆轮廓、中心线和边缘配准。这种功能强大的软件工具使用户能够确定复杂组件的3-D形状,并使用测量结果创建报告和分析数据。总体而言,TENCOR 239E掩模和晶片检测机提供快速、高效、可靠的缺陷检测和测量能力,以提高质量和产量。它是任何寻求精密和准确检查工具的组织的理想解决方桉。