二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9074146 待售
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已售出
ID: 9074146
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Macro-defect inspection system, 8"
Handler type: Autoloader with single end effector
Loadport: (2) 8" Open cassette
Operating system: Windows NT 4.0
No signal tower
Light handling
Camera: Dark & bright camera
GEM / SECS
Defect sensitivity: 50um
Pattern pitch: Min 0.15mm, max 50um
Throughput: 110 Wafers/hr
Computer configuration:
CPU: Pentium III MMX 550MHz
RAM: 800M
Hand drive disk: 18G & 9G
Monitor
CD-ROM / Floppy
Jaz
Digital printer
Facilities:
Input power: 100VAC +/-10%, 50/60Hz @8A
Input vacuum: 534-610mmHg
Input VCDA: 50-60psi (42 kg/cm2)
Exhaust flow: 200 CMF
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper是一种面罩和晶片检测设备,以极具竞争力的价格提供卓越的性能。该系统利用由五个通道组成的光学成像单元，其中四个通道包含图形处理功能，每个通道都包含光谱滤镜以及精密机械元件。这台机器以高达每秒25帧的高速产生动态聚焦的高分辨率图像。利用先进的算法和软件快速、准确地存储和分析所采集的图像数据。该工具可以识别线宽、线几何和缺陷类型,以及确定从一个图像曝光到下一个图像的特征变化。毒蛇拥有一个光源，其中包含几个具有偏振能力的宽带照明激光源，允许广泛的颜色用于图像采集。此外，该资产还具有动态路径管理模型，可方便地围绕芯片和电路模式进行导航。毒蛇配备了高精度的光学定位设备，能够对准和调整每个晶片的光学元件。这允许精确的图像捕获和分析。该系统还配备了一个内置的患者跟踪单元，这对于在一段时间内以一致性和准确性检查大样本量非常宝贵。机器还配有温控室，保证整个样品检查分析过程中温度和湿度的稳定。KLA 2401 Viper Mask and Wafer Inspection Tool是Mask and Wafer inspection system的业界领先者。它的准确性、速度和价格为实验室和电子专业人士提供了巨大的价值。凭借最先进的图像采集和处理能力、缺陷检测和特征变化分析，Viper是半导体制造和检验行业中的一个宝贵工具。
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