二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9176353 待售

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ID: 9176353
优质的: 2001
Macro-defect inspection system Currently stored in cleanroom 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper是一种先进的掩模和晶片检测系统,用于检测与掩模和晶片生产有关的亚微米粒子、缺陷和其他质量问题。它使用石英卤素光源进行操作,照亮掩模和晶圆样品,并使用远心光学系统捕获高分辨率图像。KLA 2401 Viper包含嵌入式SENTry技术,使用专有算法以高度的准确性和可靠性定位粒子和缺陷。该系统配备了强大的软件工具,使用户能够轻松地在不同的光学配置之间切换,从而使他们能够在一次检查中分析不同位置的不同表面和微观结构特征。其他功能,例如独立控制光路的能力和缩放设置,可以增强对比度并详细监控样品的特定区域。除了粒子和缺陷分析外,TENCOR 2401 Viper还能够测量掩模和晶圆样品的各种特征。低光自动对焦特性产生高对比度图像,使用户能够以亚微米精度对临界样品尺寸进行精确测量。此特征还有助于减少由于对象位移或样本曲面不一致而导致误报的可能性。2401 Viper为掩模和晶片生产提供了可重复性、可靠性和增强的吞吐量。它直观易用的图形界面,加上强大的软件和硬件功能,使其成为各种生产设施的重要检查解决方桉。
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