二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9186868 待售

KLA/TENCOR 2401 Viper是一种自动化的掩模和晶圆检测工具，旨在提供全面的缺陷检测能力。它用于半导体制造过程中，用于检查掩模、晶圆和模具表面是否存在缺陷或污染物。KLA 2401 Viper利用先进的模式识别算法和光学对图像缺陷进行检测和分类。它配有高分辨率彩色CCD相机、偏振模块和白光LED照明器，用于捕捉和分析被检查的掩模或晶片的图像。TENCOR 2401 Viper还包括一个自动级，用于将掩模或晶片移入和移出检测区。2401 Viper提供极低噪音性能的高速生产级检查。它能够以高达每小时60个晶圆的速度运行，可以检测到小至1微米的缺陷。KLA/TENCOR 2401 Viper还可以检查大面积、高长宽比，从而提高晶圆与掩模的兼容性。KLA 2401 Viper的用户友好界面包括全功能文本、图形和声音警报，以指示刚刚检测到的异常。它还包含一个板载的滤波器和扫描参数库，以优化系统的性能。该库可以配置为容纳晶圆边缘或网格上的不同采样点,从而使用户能够最大限度地提高产量和吞吐量。TENCOR 2401 Viper还采用了多合一检测技术，可以检测各种缺陷类型，从异物颗粒到空隙或凹坑。该系统结合了自动化检查和人工检查，允许精确的缺陷选择和分类。该系统可以进一步用背景匹配算法进行预编程，过滤出低强度或低概率异常。2401 Viper是一种有效可靠的掩模和晶片检查工具，旨在检测小异常，降低操作成本，优化产量。通过其高速和先进的缺陷分类能力，KLA/TENCOR 2401 Viper提供了更高的吞吐量，同时为用户提供了检测过程中的精确智能。