二手 KLA / TENCOR 2401 Viper #9195297 待售

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ID: 9195297
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 2000
Wafer inspection system, 4"-8" Cassette to cassette system Compatible wafer carriers: 4, 5, 6, 8 (2) Cassette ports Unit set up: 8" Optical measurement unit Operating system: Windows NT Throughput: 85 W / H Wafer mapping Double discharge lamp: Wafer illumination Particles and scratches macro inspection: > 50 microns Instant pictures: 1 KB x 1 KB with 2 linear CCDs Stage moving: Y Axis 2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper是一种自动掩模和晶片检测设备,设计用于检测高精度和可靠性的模式缺陷。该系统由两个扫描激光器组成,用于分析掩模表面和晶圆样品的任何不规则性。此过程称为缺陷审查。该单元使用一种独特的两台激光机器,称为"感知",以准确识别缺陷。该工具利用两个独立的扫描激光器同时收集不同角度的缺陷审查信息。这有助于减少检查样本所需的时间,并提高结果的准确性。此外,该资产还包括可以用传统方法检测难以检测的异常的高级算法。KLA 2401 Viper的成像功能使用户能够快速查看示例图像,这些图像显示在集成用户界面上。对于检查过程的各个阶段(包括缺陷修复、缺陷隔离、通过/失败和对齐等)的各种设置,可以选择图像分辨率。模型还使用高精度的光学级,以3轴方向精确移动晶圆或掩模样品。这样可以更好地控制整个过程。集成校准软件使用户能够在整个设备上保持一致的扫描参数。此外,系统还配备了条形码读取器,使检查数据能够快速准确地记录下来。最后,TENCOR 2401 Viper的软件包提供了一套全面的功能,以确保检查晶片和掩码时的最高可靠性和准确性。这些功能包括图像查看工具、缺陷识别和位置工具、自动用户指南、全面的数据和缺陷报告,以及用于轻松备份和存储数据的工具。所有这些特性使2401 Viper成为各种掩模和晶圆检查任务的理想选择。
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