二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #293592063 待售

KLA/TENCOR 2410 Viper是一款面罩和晶圆检测设备，旨在最大限度地提高生产精度和质量。它是一个自动化的串联晶片检查系统，旨在实现对器件层的经济高效的检查，提供高分辨率成像和缺陷分析。KLA 2410 Viper可以确定是否存在关键缺陷,从而能够快速拒绝超出规格的部件。该单元提供卓越的图像采集分辨率和高速图像捕获、自动图像捕获和处理以及可重复的结果。TENCOR 2410 Viper搭载了最先进的光学机器，由两个紫外线物镜、四个远心镜头、一个CCD相机和三条激光线组成。通过扫描电子束技术，2410允许精确到纳米成像能力，分辨率降至0.5微米。该工具有三条激光线用于图像捕获（光学字符识别、缺陷检测和轮廓扫描）。OCR线允许通过背光图像识别和评估迭加,而其0.5 µm成像允许读取小至6 µm的特征。缺陷检测线（Defect Detection line）是一种高分辨率的线，用于识别小至2 µm的缺陷并确定其大小。轮廓扫描线有助于迭加精度测量,用于提供任何模具缺陷的2D视图。2410 Viper还拥有在一个工具中自动添加和引用100多个视场的功能,而无需手动校准。它还能够自动进行缺陷分类、图像聚类和帧对帧比较，从而能够识别连续图像中的相同缺陷。KLA/TENCOR 2410 Viper可以提供快速、可重复的结果,即使在一大组晶片上也是如此,以帮助确保快速的吞吐量和最短的停机时间。此外，KLA专利晶圆检测算法提高了精度，解决了风险，降低了器件产量损失。通过结合精确和可重复的结果，KLA 2410 Viper是检查现代高密度半导体芯片的理想资产。