二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #293609537 待售

ID: 293609537
Macro defect inspection system.
KLA/TENCOR 2410 Viper是一款先进、高精度的掩模和晶圆检测设备,旨在满足半导体制造的挑战性要求。该系统是一个集成的解决方桉,可提供卓越的缺陷检测功能、准确的重复性和可靠性,以及高吞吐量,从而实现经济高效的吞吐量。KLA 2410 Viper利用先进的电子和光学设备,对掩模或晶圆的所有层以及设备外围的多个区域提供高分辨率成像。它具有一系列自动化和手动模式,可以快速准确地识别缺陷。该设备构建在一个opto-mechanical平台上,其设计增强功能可提高可靠性、分辨率和吞吐量。2410包括先进的光学显微镜级和高功率动态成像机。光学器件的设计目的是获取高分辨率图像,并经过优化,以确保准确、可重复的结果。2410的高级图像处理功能允许快速检测和分类一系列缺陷,包括线缘粗糙度、接触打印缺陷、桥接和穿刺缺陷、多边形边缘位移和划痕。它还提供传感器来测量小宽度和多边形边缘位移。TENCOR 2410 Viper利用多种检查技术,确保完整的覆盖范围和准确性。其中包括计数模式,其中工具确保图像质量校正被应用;比较模式,允许比较视野的两个区域;和设置模式,这有助于确保准确的位置对齐。2410 Viper设计为人性化。直观的图形用户界面可轻松导航并增强用户体验,同时易于编程的作业设置和完整的报告功能可实现高效操作。集成的温度控制光源也有助于提高图像清晰度。总体而言,KLA/TENCOR 2410 Viper设计用于高效、经济高效的高精度掩模和晶片检查。它的自动化和手动模式能够快速识别缺陷,而其先进的图像处理功能则能够准确检测边缘和全面覆盖。用户友好的图形界面和集成的温度控制光源确保了准确性和易用性。
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