二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #9136881 待售

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KLA / TENCOR 2410 Viper
已售出
ID: 9136881
晶圆大小: 8"-12"
Macro-defect inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2410 Viper是一种高速、自动化的机器,用于掩模和晶圆检查。该设备旨在为光刻面膜、晶片和光栅的光学检查提供经济高效的解决方桉。KLA 2410 Viper是一个模块化平台,允许客户构建自己的配置。它具有强大的成像、样本处理和全面的计量功能。TENCOR 2410 Viper系统具有高精度的自动化样品定位功能,具有长达18步的样品阶段。此外,它还包括一个先进的5轴XYZ定位单元,可帮助确保准确和一致的样品放置。机器还有一个集成成像工具,具有高达800万像素的高分辨率,提供了极高的细节和准确性。它包括一个先进的320纳米光源,能够从不同角度照射样品,使其成为检查口罩、晶片和标线的理想选择。2410 Viper还具有自动缺陷检测(ADD)功能。这使得资产能够自动检测和分类标本中的缺陷,精确度高达99.9%。它允许用户为每种样品定制检验配方,甚至可以检测和分类诸如划痕和光刻错误等复杂缺陷。该模型还可以与外部计量系统集成,允许晶圆的自动化3D分析。KLA/TENCOR 2410 Viper的设计考虑到了高效可靠的设计,使其能够在最短的设置和停机时间内快速准确地检查样品。支持与其他主要设备供应商的完全集成,以便于安装和与其他机器和系统集成。此外,KLA 2410 Viper还具有易于使用的用户界面,可让操作员快速设置和使用设备。总体而言,TENCOR 2410 Viper是一种功能强大的机器,设计用于掩模和晶圆检测.它是光刻面膜、晶片和光栅光检的理想的经济高效的解决方桉。它具有模块化平台、强大的映像功能以及自动缺陷检测和分类功能。最后,它拥有出色的用户界面和与各大设备厂商的全面集成,使其成为市场上最好的掩模和晶圆检测系统之一。
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