二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #9152918 待售

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KLA / TENCOR 2410 Viper
已售出
ID: 9152918
Macro defect inspection system.
KLA/TENCOR 2410 Viper是一种自动光学检查(AOI)设备,能够快速准确地检测和测量晶圆和光掩模表面上非常小的缺陷。它设计用于检查最大侧长200毫米的晶片和掩模。KLA 2410 Viper是一款先进的视觉检查系统(VIS),有两个主要组件。第一个是光学成像装置,它使用远心光学机器从200 mm的广角视野中捕获亮场和暗场图像。第二个组件是高性能处理器平台(HPPP),用于处理众多图像并检测晶圆和掩码上可能存在的细微缺陷。TENCOR 2410 Viper能够使用其自动缺陷识别(ADR)工具检测30 nm以下的特征。ADR资产利用算法,可以快速准确地识别缺陷.它还可以测量低至10nm的特征,并提供缺陷直径和线性距离的测量。2410 Viper在执行各种检查任务时利用软件控制和调整视觉模型并解决复杂问题。它用户友好,包括实时操作员设备等功能。该系统易于使用,有助于提高检查过程的运行性能和生产率。KLA/TENCOR 2410 Viper灵敏度高,检测能力广泛。由于它的高速处理,它很容易超越其他类似的可用系统。它还包括各种外部接口,使其易于与其他设备(如计量工具)兼容。总体而言,KLA 2410 Viper是一款可靠、功能强大的AOI单元,具有出色的光学性能、鲁棒的模式匹配算法和多用途的接口机。它是一种工具,可用于确保各种检查任务的准确和可靠的结果。
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