二手 KLA / TENCOR 2410 Viper #9206451 待售

ID: 9206451
优质的: 2001
Macro defect inspection system 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2410 Viper是一种高性能的自动掩模和晶圆检测系统。Viper专为半导体生产行业的光刻师和包装工程师设计,提供全面的物理缺陷检测和串联过程控制,用于晶圆级和标线级掩模检查。毒蛇利用创新的"DualVision"光学成像架构,提供0.5微米分辨率、高灵敏度检查和CD和图样化检查图像的0.2微米覆盖精度。直观且易于使用的用户界面可实现数据捕获、分析和报告。毒蛇还包括一个专利的"激光成像系统"(LIS),用于检测设计和制造阶段的故障,提供比其他领先的掩模检查系统更广泛的覆盖范围。Viper能够集成缺陷检查和过程控制,并具有内置的摄像头级过程控制和高级缺陷分类功能。此外,它还支持工厂内生产,周期时间低至5分钟,并支持高吞吐量的自动化数据分析。其先进的自动化功能和内置的过程控制算法使用户能够放心地快速检测、可视化和测量过程变化。Viper还具有许多高级功能,包括"Patterned Edge and Corner Trigger" (Patterned Edge and Corner触发器)和"Multi Exposure Stitch"(多曝光针线)功能,以便在缝合和重新对齐过程中对齐多个曝光区域,以及"Open Beam Inspection"(开口光束检查)技术,用于检查任何尺寸的物体而不进行deswing。KLA 2410 Viper是高性能掩模和晶圆检测的理想解决方桉。使用速度快、准确、直观,提供全面的缺陷检测和过程控制。它具有先进的特点和简单的设置,是石版画家和包装工程师的理想系统。
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