二手 KLA / TENCOR 2430 Viper #9177838 待售

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KLA / TENCOR 2430 Viper
已售出
ID: 9177838
晶圆大小: 12"
ADI's, 12".
KLA/TENCOR 2430 Viper是一款最先进的掩模和晶圆检测设备,同时使用可见成像和高级激光显微镜,为全系列高级工艺节点提供完整的缺陷可见性。KLA 2430 Viper采用独特的专利技术,可精确检查和测量模具尺寸、开口和短裤、薄膜厚度、1nm至30 µm的颗粒以及地形简单复杂的高速形状。TENCOR 2430 Viper的设计满足了300 mm基板的精度要求,使其能够满足高产、面向生产的节点的严格性能要求。它兼具光学波前和色差,适用于一系列不同的材料和基板。2430 Viper还设计了双聚焦激光/显微镜系统,在检测缺陷和颗粒时提供极致性能。与单焦点系统相比,双焦点功能具有显着优势,使毒蛇能够检查和检测通常无法使用单焦点单元的缺陷。KLA/TENCOR 2430 Viper还配备了高度精密的软件,使其能够在高级流程节点中调整度量和检测模式。该机器还能够自动进行缺陷分析、径向测量、报告、分类和归档,从而获得最大的收益。KLA 2430 Viper还具有精密的检查和计量技术,如先进的照明,可以精确检查透明表面和暗场扫描。该工具还包括高级图像采集和分析,以突出掩码边缘特征并促进缺陷隔离。TENCOR 2430 Viper是先进的掩模和晶圆检测的尖端工具。它的一系列特性和功能提供了稳定性、准确性和高级性能,可帮助提高产量结果、减少成本高昂的缺陷返工并最终节省时间和金钱。
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