二手 KLA / TENCOR 2435 Viper #9177839 待售

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KLA / TENCOR 2435 Viper
已售出
ID: 9177839
晶圆大小: 12"
ADI's, 12".
KLA/TENCOR 2435 Viper是一款专门为半导体制造而设计的先进的自动掩模和晶圆检测设备。它采用6"或8"晶片甲板、高分辨率彩色数码相机和定制设计的光学器件构成。能够对正抗剂、负抗剂、半导体抗剂等不同类型的光掩模和晶片进行高速检测。KLA 2435 Viper利用最新的机器视觉技术,用激光系统精确检测掩模或晶片中的缺陷。单位运作分为两个基本过程:成像和分析。成像过程通过使用激光线机创建分辨率图像,分析组件解释捕获的图像数据。该工具配有检测不同类型缺陷的高级算法,分为临界、一般和边缘三类。资产还可以高精度测量线宽和配准。它能够检查尺寸不超过6"或8"的平面晶片和图样晶片。所有的检查和分析参数都是用户定义的。该模型还包括多种冗余成像技术,防止错误缺陷检测。TENCOR 2435 Viper除了具有掩模和晶圆检测功能外,还提供了非人类界面用户界面。它允许用户通过基于文本的菜单结构访问设备的功能,以便于访问系统的高级功能。2435 Viper单元还包括一个数据查看过程,允许用户查看收集到的数据并分析检测到的缺陷。KLA/TENCOR 2435 Viper由于其高分辨率的激光成像、快速的通量、准确的缺陷检测,在掩码和晶圆检测方面是理想的选择。它提供了一种有效和可靠的方法来识别有缺陷的图像并提高批量生产半导体的产量。
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