二手 KLA / TENCOR 2438 Viper #9399303 待售

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ID: 9399303
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Macro defect inspection system, 12" Review module (3) Load ports Wafer transfer robot 2008 vintage.
KLA/TENCOR 2438毒蛇面膜和晶圆检测设备是一种最先进的、基于视觉的检测系统,旨在满足微电子行业的苛刻需求。KLA 2438 Viper提供了卓越的检测精度和高吞吐量,实现了最先进的过程控制和可靠性要求。TENCOR 2438 Viper单元的主要部件包括高分辨率数码相机、高精度机器人舞台、ImageTool软件和控制硬件。相机的500万像素CMOS传感器收集口罩和晶片的高分辨率图像,像素大小为2.6 µm。机器人级可以在整个检查区域精确移动样品基板,并利用自动校准来确保准确性和可重复性。其先进的ImageTool软件是一套集成的自动检查和测量算法,旨在快速、精确地评估掩模和晶片的缺陷、磨损以及其他导致屈服损失和不均匀的特性。该软件具有直观的图形用户界面、可自定义的运行时配置文件,用于快速、可重复的检查,以及与下游分析和审阅工具的集成。2438 Viper机器中的控制硬件包括直观的用户界面、运动和编码控制、工具安全管理以及集成的本地和远程诊断。软件的警报和报告功能会提醒用户异常,并允许对资产性能进行深入分析。KLA/TENCOR 2438毒蛇掩模和晶片检验模型提供了有关晶片产量、缺陷和工艺性能的可靠、详细的机器生成信息。它的自动化功能减少了操作员的手动干预,确保了快速、可重复的检查性能,并且其高分辨率的成像和分析功能能够进行彻底的分析和闭环反馈,从而改进过程控制并提高产量。
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