二手 KLA / TENCOR 2552 #293591921 待售

KLA/TENCOR 2552是一种先进的掩模和晶圆检测设备，设计用于检测集成电路制造中最小的缺陷。它有一个创新的视觉系统，将两种工具整合到一个单元中：散射测量和视线成像。散射法使用光来测量遮罩中的材料并识别潜在的缺陷，而视线成像则有助于快速识别较大的缺陷，如蚀刻或残留物。KLA 2552具有高速度、高分辨率、高精度，是一款行业领先的口罩和晶圆检测工具。TENCOR 2552是一种内联机器，在制造过程中检查每个掩模和晶圆。它具有两台数码相机和两台光束提取器，可捕获和分析遮罩或晶片上图样的图像。该工具的创新视觉资产能够以非常高的精度检测物理缺陷和光掩模缺陷。模型中使用的高分辨率相机允许精确的缺陷定位和测量。2552设计用于使用单个设备检查光掩码和晶圆缺陷。它能够高精度地分析模具级和晶片级的缺陷。该系统可以检测小至0.3um大小的缺陷，并能识别污染并防止其扩散。此外,该设备还可以提醒用户光掩码图像中存在异常或像差。KLA/TENCOR 2552配备智能缺陷检测，消除了手动检测，使缺陷检测速度快得多。它还配备了图像特征提取技术，允许检测面罩中的层级缺陷和像差。凭借智能缺陷检测算法和高速检测能力，KLA 2552能够发现最微妙的缺陷，同时最大限度地提高吞吐量。TENCOR 2552是一种先进的掩模和晶圆检测机，旨在提供高通量和高精度。其创新的视觉工具和高分辨率相机可以快速准确地识别蒙版和晶圆制造中最小的缺陷。其智能缺陷检测算法和图像特征提取技术使其成为任何半导体制造厂的宝贵工具。