二手 KLA / TENCOR 2552 #293616227 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
2552
ID: 293616227
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2552掩模和晶片检测设备是一种通用、快速、准确的检测系统,可扫描各种材料。它的工作原理是用光源照亮要检查的物品,然后用高分辨率CCD相机或光学显微镜捕捉物品的图像。该装置能够测量所有类型的模具、掩模和晶片材料的关键尺寸和特征检测,从晶圆和MEMS设备到纳米级特征。该检测机提供先进的成像功能、快速的数据采集速度、实时图像处理以及精密的分析引擎,可以轻松操作。KLA 2552通过其自动显微镜照相机和光学对焦寄存器,提供即使是最具挑战性的模具和掩模计量任务的自动化、高分辨率成像。其介电屏障工具(DBS)增加了更大的功率,允许在高分辨率成像和数据收集领域高效收集TB的数据。DBS功能使用了先进的信号处理算法,在检测模具或掩模表面的缺陷和其他功能方面提供了显着的改进。再者,资产具有可调的工作距离,可根据需要在8至20毫米之间进行调整,非常适合检查较大的模具。这辅之以其先进的光学机械设计,包括Microner Opti-stable Specular Finish,确保放置在模型内的光学滤镜在整个检查过程中稳定可靠。TENCOR 2552掩模和晶圆检测设备还配备了许多其他功能和功能,使其能够最大限度地提高任何检测工作的准确性和可重复性。这包括自动化数据分析、元数据捕获和测试结果通知,从而实现可靠且可重复的测试结果。再者,它的可升级软件包可以提供额外的功能,包括特征检测和源检测、缺陷检测和分析、区域覆盖分析和过程分析。综合软件包还包括晶圆映射软件和注册标记工具,提高了系统数据捕获和结果的准确性。所有这些结合使得该单元成为任何掩模或晶圆检查任务的理想解决方桉。那些为模具、掩模或晶圆应用寻找有效、高效和可靠的检测机的人应该只看2552。
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