二手 KLA / TENCOR 2552 #9083783 待售

KLA/TENCOR 2552是为半导体生产而设计的最先进的掩模和晶圆检测设备。它在高级成像和自动化、高度敏感的半导体材料、尺寸和复杂性方面提供领先性能。KLA 2552系统还提供了自动化缺陷分类、数据收集、趋势分析和报告的综合软件包，使其成为提高流程质量和吞吐量的重要工具。TENCOR 2552单元先进的光学机器允许对掩模和晶圆表面进行快速成像，具有平滑的图像传输和并行处理，以获得更高的速度和线路速率。这种激光扫描的光学架构还具有一种短点大小的激光器，可最大限度地减少运动伪影，提供更高的分辨率、图像柔韧性以及用于测试和检查极小缺陷的照明角度。2552工具包含了一系列多样的技术，包括先进的缺陷成像算法，用于识别小缺陷和不区分微粒。它还支持多种照明技术，如偏振、轮廓、边缘检测，以及在不同角度和照明水平进行高分辨率成像的模式识别。资产还提供了一个灵活的数据采集模型，用于从晶圆或掩码表面的各个点收集缺陷信息。最后，设备配备了强大的软件套件，用于管理和分析收集到的数据，提供趋势分析、缺陷跟踪和统计过程控制，以确保高产量和过程优化。总体而言,KLA/TENCOR 2552是一种先进的掩码和晶圆检测系统,结合先进的软件工具,提供卓越的性能。该单元提供高分辨率和可重复成像、准确的缺陷识别、数据收集和过程控制,使其成为生产和研究的重要工具。