二手 KLA / TENCOR 259HR #293635801 待售

KLA/TENCOR 259HR是一种功能强大、高效的掩模和晶圆检测设备,旨在为高级工艺节点的生产提供完整的解决方桉。KLA 259HR是KLA系列自动化、数字分发掩码和晶圆检测系统的最新成员。TENCOR 259HR提供了一个高精度的光学成像系统，能够检查各种晶圆、掩模和其他微电子元件的缺陷、非均匀性和形态学。该单元针对8+至16+纳米的工艺节点进行了优化，具有110 mm的视场（FOV）。它拥有非常高分辨率的亚微米成像机和标清视频检测工具。259HR可以检测到0.5到10 μ m的异常。成像资产配备了多种模式类型的算法，能够检测和映射缺陷和粒子。该模型还提供了复杂的边缘和地形成像功能。KLA/TENCOR 259HR包含了广泛的图像处理算法库，使其能够执行模式识别和识别广泛的缺陷，包括划痕、点蚀和尘埃颗粒。该设备还能够表征复杂的模式，如音高、音高变化和边缘完整性，使其成为识别平版印刷误差以及跟踪掩模不对准和其他与工艺有关的效果的有力工具。该系统还包括一系列高级功能，如实时全局监控、动态成像和远程诊断。KLA 259HR每个晶片可存储200多个图像,从而最大限度地减少缺陷检查、分析和审查的时间和工作量。它还与几种行业标准数据格式兼容,以确保快速、高效和可靠地集成到现有的掩模和晶圆生产线中。总体而言，TENCOR 259HR是一个高度先进的掩模和晶圆检测单元，旨在为生产高级工艺节点提供完整的解决方桉。其精密的成像机器和数组处理算法使其成为自动监控和缺陷检测的理想选择。259HR能够检测和表征各种缺陷,每个晶片可存储200多个图像,使其成为光刻工艺控制和质量保证的有力工具。