二手 KLA / TENCOR 2800 #9117287 待售

KLA/TENCOR 2800是为微芯片行业设计的掩模和晶圆检测设备。它结合了先进的光学和自动处理技术来检测半导体晶片和微芯片生产中使用的掩模上集成电路的缺陷。该系统能够无损分析晶片和封装级的微芯片缺陷，使其成为生产高可靠性芯片组的重要工具。KLA 2800的光学单元由四个对齐模块组成，其中两个充当图像捕获单元，两个充当对齐单元。所有四个模块都与光学机械对准机配合工作，以获得准确的测量结果。光学系统可以检测尺寸范围广泛的缺陷，从纳米到毫米，并且能够光学进行晶圆模具的二维成像。该工具还包括一个由几个组件组成的综合传感器包，包括激光多普勒振动传感资产、自动光谱反射仪和自动缺陷检测模型。激光多普勒振动传感设备产生晶片和模具的高保真图像，用于高分辨率缺陷检测。自动光谱反射仪检查晶圆表面的反射率变化，可以指示存在缺陷。自动缺陷检测系统旨在检测芯片模具上的缺陷,包括线路脱落和错误对齐。TENCOR 2800配备了几个数据管理和软件组件，允许用户自定义和访问设备的数据。软件组件允许用户分析缺陷数据、对缺陷进行分类、设置采样率、访问历史重新配置信息以及生成缺陷报告。该机器还具有自动化数据存储工具,具有多个存储位置和可访问的数据入口点。此外，2800是一项环保资产，为减少环境影响和能源使用提供了若干措施。该模型符合欧洲RoHS指令，能够在ISO 14001环境管理设备下运行。该系统还提供了若干节能措施，例如使用低功率LED和减少通风，以及减少噪音污染的措施。总体而言，KLA/TENCOR 2800是一个先进的掩模和晶圆检测单元，对芯片缺陷提供准确可靠的分析。它结合了先进的光学和自动化处理、全面的传感器包和强大的软件功能，使其成为生产高可靠性微芯片的宝贵工具。