二手 KLA / TENCOR 2800 #9155473 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
2800
ID: 9155473
Wafer defect bright field inspection system Currently de-installed.
KLA/TENCOR 2800是一种最先进的掩模和晶圆检测设备。KLA 2800是一个自动化的集成解决方桉,用于控制和验证纳米级电子产品的生产,设计用于高效的多传感器缺陷检测应用和晶圆厂的诊断。该系统在整个生产过程中提供卓越的线缘粗糙度(LER)和临界尺寸(CD)测量,并提供快速、准确的结果。该装置的设计是为了抵御现代电子制造工艺的严密环境。TENCOR 2800晶圆成像机结合了先进的固态激光、数字成像和先进的光学技术,提供产品晶圆的高质量、高速成像。使用获得专利的光学设计,成像工具提供了缺陷检测、分辨率、灵敏度和速度的前所未有的组合。2800的LER和CD测量功能能够检测到大缺陷、小颗粒和污染,以及模式边缘和临界尺寸的微小变化。KLA/TENCOR 2800检查资产旨在实现主动、远程和数据驱动的可信晶圆厂管理。利用一套功能强大的软件工具,可以通过一个支持Web的安全用户界面来管理和监视模型。这允许对缺陷度量以及实时度量进行全自动、高度准确和快速的报告,以实现对时间敏感的决策。KLA 2800的集成飞行跟踪设备进一步能够进行主动分析和预测,从而能够采取纠正和预防措施,最大限度地提高流程产量。TENCOR 2800系统还保证了高级数据安全和隐私。利用集成的加密单元和安全的用户身份验证协议,2800确保安全执行数据和机器管理任务,只对授权人员进行有限访问。总体而言,KLA/TENCOR 2800是用于掩模和晶圆检测解决方桉的先进工具。KLA 2800具有坚固的结构、多传感器能力和集成的软件工具,能够可靠、准确、快速地提供最佳工艺和材料结果;它还提供了无与伦比的安全和隐私。
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