二手 KLA / TENCOR 2800 #9192128 待售

KLA/TENCOR 2800是一种用于缺陷检测和粒子成像的精密掩模和晶圆检测设备。它是一个自动化系统，结合了先进的光学、照明、成像和软件技术，以提供严格的结果。KLA 2800提供二维或三维图像，精确测量粒子直径、计数、大小和形状到纳米范围。单位将检查区划分为多个子区，并对每个子区进行缺陷检查。它配备了缺陷识别和分类图像处理算法、带背光的高分辨率相机、用于检测大小缺陷的倾斜照明机、精确的样品处理和精确的自适应非均匀性校正。TENCOR 2800具有很高的分辨率成像能力，能够捕捉地形和缺陷的几何形状。由于其高度灵敏的光学工具和自动化的芯片样品处理系统，它还可以同时检测晶圆两侧的粒子。它测量和剖面粒径和形状，并编译形状参数作进一步分析。此外，它还配备了一种快速缺陷定量算法，能够在可见光束的一小部分波长内精确测量缺陷尺寸。处理后的图像使用颜色编码的迭加来显示缺陷的确切位置和严重程度。2800被证明是一个非常直观的资产，易于帮派图形。它旨在提供快速、准确的数据,同时保持稳定的平台。它具有全模型自动化功能,与在线过程控制系统集成,以最大限度地提高过程性能。KLA/TENCOR 2800允许快速获取和分析缺陷数据,从而提高效率和产量。它的高分辨率成像提供了识别小缺陷和粒子伪影大小的详细功能。它的准确性和可重复性确保了对提高产量和降低成本的决策进行可靠的测量。