二手 KLA / TENCOR 2810 #9169784 待售

KLA/TENCOR 2810是一种掩模和晶片检测设备,设计用于对具有缺陷关键特征的光掩模和晶片进行精确、自动的检测。该系统结合了出色的成像性能、先进的计量学功能和用户友好的软件,为满足半导体检查和评审的苛刻要求提供了量身定制的解决方桉。KLA 2810采用了最新的硬件和软件技术来提供可靠和可重复的数据,同时提供精确的定位和频闪对齐功能,以确保无缺陷的启动和精确的操作。该单元易于设置和操作，其自动化的测量系统、光学模式识别以及先进的缺陷审查能力，使得即使是最精密的晶圆设计也能快速准确地验证。TENCOR 2810的5轴配置允许访问所有主要组件,从而为掩码提供精确且可重复的注册。这台机器包括双级双目立体声观察，能够在复杂的结构和特征上进行精确和可重复的成像，这些结构和特征在传统显微镜下很难或不可能看到。2810采用了最新的照明技术，包括暗场、斜角和KLA专利LED照明工具，减少了光斑，增强了缺陷能见度。利用其板载步进模式识别算法，可以快速检测大面积区域并识别参数缺陷的位置。此外,KLA/TENCOR 2810能够检查掩模的感光层,从而减少错误检测。KLA 2810还包括一套全面的软件工具，包括TENCOR缺陷数据管理软件，允许对来自多个来源的数据进行分析和审查。该资产还具有强大的用户界面,可用于协作和缺陷审查。凭借其创新的设计、先进的成像能力、通用的软件工具以及用户友好的操作，TENCOR 2810掩模和晶圆检测模型是半导体缺陷审查和分析的宝贵工具。