二手 KLA / TENCOR 2810 #9227348 待售

KLA/TENCOR 2810是一种最先进的掩模和晶片检测设备，可以检测晶片和掩模中的缺陷，精确测量晶片上的尺寸、形状和特征放置。KLA 2810旨在满足当今半导体器件制造的高精度要求。TENCOR 2810系统利用10X显微镜精确测量和识别半导体特征尺寸低至1/4微米的缺陷。该单元中高度先进的算法使其能够以极高的精度发现和区分完美成型特征中的缺陷。机器可以同时扫描和测量多达3个芯片，从而实现极快的吞吐量速率。2810能够通过侧壁和形状导数检测电气和物理缺陷,包括颗粒、空隙、闸门和接触短裤、位错、空隙、线宽和线缘粗糙度。该工具还能够同时进行暗场和亮场成像，以及散射成像，使其能够检测低于光学分辨率极限的缺陷。除了KLA/TENCOR 2810先进的光学检测能力外，该资产还能够执行包括迭加、俯仰、宽度、长度和面积在内的广泛测量。该模型还提供了一个外部自动缺陷审查（ADR）设备的接口，使KLA 2810能够根据预定的规则和模式快速高效地对缺陷进行分类和分类。TENCOR 2810是一种多功能、高精度的掩模晶片检测系统，旨在检测和测量无与伦比的精度和重复性缺陷。该装置能够在单一、快速、自动化的过程中检测和测量各种电气和物理特性。由于其先进的算法和成像,2810可以检测到低于1/4微米水平的缺陷,同时通过单击重复验证和测量过程来提供可重复性。这使得KLA/TENCOR 2810成为半导体制造过程中的宝贵工具。