二手 KLA / TENCOR 2810 #9236214 待售

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KLA / TENCOR 2810
已售出
製造商
KLA / TENCOR
模型
2810
ID: 9236214
晶圆大小: 12"
Patterned wafer inspection systems, 12" Dual load ports.
KLA/TENCOR 2810是用于半导体制造行业的理想的掩模和晶圆检测设备。它旨在提供高精度、自动化的对面罩、晶圆和其他基板的检查和测量。该系统采用KLA突破性四单元扫描光学显微镜(QC-MOS)技术和专用软件,以最高的精度提供优异的效果。KLA 2810能够检查正面和背面的计量应用,从最复杂的面罩和晶片到最大的晶片,以及包括硅、玻璃或康宁1737等材料在内的多种基材。该装置的晶片级吞吐量高达每小时95个晶片,并提供了检测小至2.5微米缺陷的卓越能力。在TENCOR 2810中使用的QC-MOS技术提供了比传统光学显微镜更好的灵敏度和在低假缺陷率下的缺陷检测。它具有四个以模型排列的显微镜,每个显微镜聚焦在不同的距离、视点和偏振方向。该机器利用CCD摄像机以每个晶圆不同的放大和偏振来捕捉六个图像,从而能够对缺陷、特征、污染和划痕进行极其精确的测量。TENCOR专有软件也可以与2810配合使用,使用户能够更有效地分析和管理数据。它还提供实时开放平台,允许用户在几分钟内开发、修改和测试晶圆图像。除了性能能力外,KLA/TENCOR 2810还设计为易于使用,具有直观的控件和可选择数量的程序。该工具拥有一整套实用程序,如自动聚焦算法和自动滤波器,这有助于确保最高的准确性和可靠性。KLA 2810是寻求具有卓越精度和精确度的自动化检查和测量解决方桉的企业不可或缺的工具。其先进的QC-MOS技术、专有软件和可定制控件使其成为有经验和新手用户的理想选择。由于能够识别极小的缺陷,资产有助于防止成本高昂的生产延误和提高产量。归根结底,TENCOR 2810模型是希望在确保最优质产品的同时实现效率和产量最大化的企业的理想解决方桉。
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