二手 KLA / TENCOR 2830 #9260081 待售
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已售出
ID: 9260081
优质的: 2010
System
Module: EFEM
Includes:
YASKAWA XU-RCM9206 Robot
Pre-aligner: XU-ACP330-B10, ERCM-NS01-B003
Controller
2010 vintage.
KLA/TENCOR 2830是一种功能强大的晶圆测试和计量设备,设计用于测量半导体晶圆的性能。它具有高分辨率红外成像工具,能够检测和测量晶片表面的微观特征,包括缺陷、掺杂剂浓度、薄膜厚度、晶界、电阻率和其他微观结构特征。该系统的自动化软件提供了快速、高效的测试结果分析。它配备了计算机化的晶圆处理单元、精度和速度扫描光学,以及先进的分析算法。机器可以容纳直径达8英寸的晶片。KLA 2830使用成像技术精确测量晶圆表面的地形,产生详细的图像进行分析。该工具精确测量晶片的凸点、凹坑或其他微观特征的高度和图案。它还记录了红外光谱波段地形的光学反射率,提供了适当的数据范围,以识别可能影响设备性能的任何缺点。资产的自动化软件使得快速获取、审查和分析晶圆测试数据成为可能。此软件允许用户设置自定义参数,如扫描区域、点大小和采样率,以获得所需的详细程度。该软件还提供了存储和管理晶圆测试数据的便捷方法。TENCOR 2830具有在晶片表面上成像和识别微小特征的能力,是在半导体晶片上进行高级生产测试和电气测量的宝贵工具。它也是晶圆分析和缺陷检测的经济高效的解决方桉。结果,该模型成为半导体行业的宝贵资源。
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