二手 KLA / TENCOR 2835i EFEM #9230778 待售

KLA/TENCOR 2835i EFEM是一种高性能、自动化的掩模和晶圆检测设备,可提供高分辨率、高通量和精确的缺陷检测。该系统提供了比传统和自动显微镜更高的检查效率和前所未有的产量。其最先进的光学、力学和先进图像处理算法的结合提供了可靠准确的缺陷识别，同时使晶圆处理吞吐量比传统方法提高了十倍。KLA 2835i EFEM的主要功能包括：高吞吐量自动检测、同时扫描20多个晶片的能力、四个可调柱的所需角度,以及高达每小时1200个晶片的高占空比。该单元还能够为高倍率消费者POV应用程序设置参考图像,以及能够达到10 um分辨率的快速3D视点（POV）扫描。2835i还采用了双摄像机，为微米级粒子和缺陷特性的评价提供了自动化和准确性。它是机载自动电子束缺陷管理（EDM）工具,使工程师能够快速检查晶片,并将缺陷特征和数据直接提取到图像文件中。该资产还集成了KLA专利的背景降噪（BNR）功能，允许更精确的表面和缺陷水平，从而大大提高了晶圆产量。TENCOR 2835i EFEM是一款功能强大、创新的检测模式，旨在满足并超过所有客户要求。该设备的卓越性能得到了易于使用的软件界面和可扩展的系统配置的称赞,允许用户根据自己的特殊需求定制其设备。2835i EFEM具有先进的图像处理功能、直观的用户界面和自动缺陷分析功能,是掩码和晶圆检测的理想工具。